污水处理包括城市生活污水、工业污水和医疗污水的处理：臭氧在水中对细菌、病毒等微生物杀灭率高、速度快、对有机化合物等污染物质去除彻底而不产生二次 污染，并能降低生物需氧量（BOD）和化学需氧量（COD），去除亚硝酸盐、悬浮固体及脱色去味，以达到排放标准。
采用臭氧消毒的污水，预处理是十分重要的，往往由于预处理程度不够而影响臭氧消毒的效果，污水处理程度要经过技术经济比较确定。污水消毒*好是经过二级处理后再用臭氧消毒。这样可以减少臭氧的投加量，降低设备投资费用和运行费用。