电子工业用超纯水概述：
半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大规模、超大规模集成电路需用大量的高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高，对水质的要求也越高。
制备电子工业用超纯水的工艺流程:
1、采用离子交换树脂制备超纯水的传统水处理方式，其基本工艺流程为：原水 → 砂碳过滤器 → 精密过滤器 → 阳床 → 阴床 → 混床（复床） → 纯水箱 → 纯水泵 → 后置精密过滤器 → 用水点
2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合的方式，其基本工艺流程为：原水 → 砂碳过滤器 → 精密过滤器 → 反渗透设备 → 纯水箱 → 混床（复床） → 超纯水箱 → 超纯水泵 → 后置精密过滤器 → 用水点