压电MEMS传感器工艺介绍： 

压电MEMS传感器具有功耗小、装配结构简单、响应时间短等优势。由于器件本身很小，从检测环境中的信号检测能量很低，这就大大降低检测信号本身对系统的扰乱作用。因此，压电MEMS技术是未来压电器件发展的必然趋势，在追求微型化的当代，其具有良好的发展前景，必将受到各个国家越来越多的重视。那么，压电MEMS传感器清洁度的重要性也绝不容忽视，要达到高精度的清洗要求，其洗后的脱水、干燥比去污清洗更为关键。 

压电MEMS传感器超声波清洗机的设备概述： 

威固特公司根据用户要求，吸收业界新工业技术和经验的基础上，设计生产的一款压电MEMS传感器超声波清洗机，机器主要材料、元器件均选用日本、美国等世界##厂家电子器件，精工制做而成。具有结构合理、工作稳定可靠、工艺先进、操作方便、工件洁净度高、清洗后即可干燥等特点。 

压电MEMS传感器的超声波清洗机的结构组成： 

压电MEMS传感器超声波清洗机主要由：超声波发生器、换能器、清洗槽、储液槽、循环过滤系统、自动恒温加热系统、抛动系统、抽气罩、冷水机、机架、电控柜等组成。 

压电MEMS传感器的超声波清洗机的注意事项： 

1.机器不能接近明火，应避免在阳光直接照射下使用； 

2.清洗剂应在与水溶解后再装入槽中； 

3.断开总电源前，应先将其他开关全部断开； 

4.槽内没有清洗液时，不能开启超声波和加热器； 

5.定时器时间的设定应在操作前进行，在工作中不能改变时间； 

6.清洗液到了所设定的温度，才能开启超声波； 

7.清洗件不能超出洗篮的边缘，清洗过程中需将洗篮移到另一个槽时，应将清洗液滴干才能进行； 

8.现液换新液时的排液，加热器开关及超声波开关应处于“关”位置并应在常驻温下进行； 

9.循环系统的调节阀位置调好后一般不应再有调动，如使用条件变化，可根据各自情况重新调动； 

10.如循环泵超负荷，热继电器频繁动作时，应检查过滤芯是否合适或是否堵塞； 

11.震板表面不能划伤、撞击或放置物品； 

12.各槽需加热时应检查水位后才能加热。