型号：VGT-15204FST

     产品特点：

                1、械手或多机械手组合，实现工位工艺要求。

 2、PLC全程序控制与触摸屏操作界面，操作便利。

 3、自动上下料台，准确上卸工件。

 4、净化烘干槽，独特的烘干前处理技术，工作干燥无水渍。

 5、全封闭外壳与抽风系统，确保良好工作环境。

 6、具备抛动清洗功能，保证清洗均匀。

 7、全封闭清洗均匀。

 8、全封闭外壳与抽风系统，确保良好工作环境。

应用范围：

 1、炉前清洗：扩散前清洗。

 2、光刻后清洗：除去光刻胶。

 3、氧化前自动清洗：氧化前去掉硅片表面所有的沾污物。

 4、抛光后自动清洗：除去切、磨、抛的沾污。

 5、外延前清洗：除去埋层扩散后的SiO2及表面污物。

 6、合金前、表面钝化前清洗：除去铝布线后，表面杂质及光胶残渣。

 7、离子注入后的清洗：除去光刻胶，SiO2层。

 8、扩散预淀积后清洗：除去预淀积时的BSG和PSG。

 9、CVD后清洗：除去CVD过程中的颗粒。

 10、附件及工具的清洗：除去表面所有的沾污

技术参数：

超声波功率：10.2KW

超声波频率：28,40,60KHZ

换能器数量：204个

电源电压：220V

技术优势：

硅片晶圆生产清洗工艺中，使用超声波清洗机有效去除硅片晶圆表面的有机物、颗粒、金属杂质、自然氧化层及石英、塑料等附件器皿的污染物，且不破坏晶片表面特性。清洗硅片晶圆同时也采用了： 三套独立的电脑控制机械臂自动化作业；第三代##技术，全面完善的防酸防腐措施，保护到机器每一个角落 ；独特的硅片干燥前处理技术，保证硅片干燥不留任何水痕 ；成熟的硅片干燥工艺，多种先进技术集于一身 。