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原水 → 原水箱 → 原水泵→ 加絮凝剂装置→ 双介质过滤器 → 活性炭过滤器→板式换热器→加阻垢剂装置→5μm保安过滤器 →一级高压泵 → 一级反渗透膜组→ 加碱装置→ 二级高压泵 → 二级反渗透膜组 → 中间水箱 →中间水泵→紫外线杀菌灯→去TOC紫外灯 → 脱氧膜组 → EDI装置 → 一级抛光混床→ 超纯水箱→ 超纯水泵→ 板式换热器→二级去TOC紫外灯→二级脱氧膜组→ 增压泵 → 二级抛光混床 → 终端过滤器 → 超纯水使用点。
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