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取水流量
三级水：1.5L/min 一级水：1.0~1.5L/min
1~2L/min
造水速度
5L/hr-10L/hr-20L/hr-30L/hr-40L/hr-120L/hr
取水水质
三级：电阻率0.2~0.5MΩ.cm@25℃，完全符合GB6682-2006的三级水规定。超纯水:电阻率10-16MΩ.cm@25℃ 可溶性硅[以（SiO2）计]mg/L<0.01 TOC<30ppb 颗粒（<0.22μm/mL）<0.1个 重金属（mg/L）<0.01,电阻率检测仪：电极常数0.01cm-1，温度灵敏度0.1℃
EDI理化分析型超纯水机