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MEMS是将微电子技术与机械工程融合到一起的一种工业技术，它的操作范围在微米范围内；微机电系统有多种原材料和制造技术，而硅则是用来制造微机电系统的主要原材料，微机电系统的生产方式是在基质上堆积物质层，然后使用平板印刷和蚀刻的方法来让它形成各种需要的结构；不得不说这种方式会遗留很多使用碱性溶液如氢氧化钾来腐蚀平板印刷后留下来的硅。今天某家企业公司因此和威固特达成合作关系，制造出这款MEMS器件超声波清洗机！
VGT-907FH MEMS器件超声波清洗设备的结构组成：
该清洗机主要由超声波发生器、换能器、清洗槽、脱水槽、储液槽、循环过滤系统、自动恒温加热系统、抛动系统、慢拉提升机构、抽气罩、二氧化碳灭火系统、冷水机、机架、电控柜等组成。具有结构合理、工作稳定可靠、工艺先进、操作方便、工件洁净度高、清洗后即可干燥等特点。