当装置在恶劣条件下运行时,能稳定的向主机输入出额定温度、压力、流量的纯水。有效地避开露点,防止硅元件及主机管道的结露现象。为了防止纯水受容器管道污染而导致水质下降,本机主循环冷却系统采用不锈钢板式换热器,以及水泵、水箱、纯水管路等采用1Cr18Ni9Ti材质,耐腐蚀性能好,并装有水质处理设备能有效地提高纯水水质,从而避免主机管道的结垢等电腐蚀现象,确保主机在额定范围内安全可靠的运行。
本机动力采用双泵组合设计,两泵互为工作或备用。设计中采用自动切换电路和自动换向阀门单路输出。工作泵万一发生故障,另一水泵自动启动工作,换向阀自动换向,并发出信号,且能不停机对故障泵进行检修。


